| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 웨이퍼(W)의 전기적 특성 검사를 행할 때에, 피처리체에 대전된 정전기를 제거하는 제전 장치를 감시하여 신뢰성이 높은 전기적 특성 검사를 행할 수 있는 제전 장치의 감시 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명의 제전 장치의 감시 장치(감시 회로)(22)는, 메인 척(14)과 프로브 카드가 상대적으로 이동하여, 메인 척(14) 상의 반도체 웨이퍼(W)와 프로브 카드(15)를 접촉시켜 반도체 웨이퍼(W)의 전기적 특성 검사를 행할 때에, 방전 스위치 회로(21)를 이용해서 메인 척(14)으로부터 반도체 웨이퍼(W)에 대전된 정전기를 제거하는 제전 장치(20)를 감시하는 장치로서, 제전 장치(20)의 방전 스위치 회로(21A)와 연동하고 또한 방전 스위치 회로(21A)의 오동작을 검출하는 검출 스위치 회로(22A)와, 검출 스위치 회로(22A)를 개폐하는 검출 구동 회로(22B)와, 검출 스위치 회로(22A)를 통해 방전 스위치 회로(21A)의 오동작을 판정하는 판정 회로(22C)를 구비하고 있다.</p> |
