发明名称 Mask Assembly and Deposition Apparatus using the same for Flat Panel Display
摘要 <p>또한, 본 발명은 챔버; 상기 챔버의 하측에 위치하는 증착원; 및 상기 증착원 상에 위치하며, 기판을 지지하기 위한 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 조립체는 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 마스크 프레임, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 인장되어 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크 및 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.</p>
申请公布号 KR101117645(B1) 申请公布日期 2012.03.05
申请号 KR20090009344 申请日期 2009.02.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;C23C14/24;H05B33/10 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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