摘要 |
<p>또한, 본 발명은 챔버; 상기 챔버의 하측에 위치하는 증착원; 및 상기 증착원 상에 위치하며, 기판을 지지하기 위한 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 조립체는 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 마스크 프레임, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 인장되어 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크 및 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.</p> |