| 摘要 |
<p>본 발명은 프로브 카드의 설치 기준면과 검사대상인 웨이퍼 표면과의 평행도가 잃어져 있어도, 그 프로브 카드가 유지하는 프로브를 웨이퍼에 대하여 똑같이 콘택트시킬 수 있는 프로브 카드의 평행도 조정기구를 제공하는 것이다. 이 목적을 위하여, 검사대상인 웨이퍼(31)와 검사용 신호를 생성하는 회로구조와의 사이를 전기적으로 접속하는 복수의 프로브(1)를 유지하는 프로브 카드(101)의 웨이퍼(31)에 대한 평행도를 조정하기 위하여, 프로브 카드(101)를 설치하는 프로버(201)의 설치 기준면(S)에 대하여 프로브 카드(101)의 경사도를 변경하는 경사도 변경수단의 적어도 일부를 이루는 조정나사(22)를 설치한다.</p> |
