发明名称 DISPOSITIF MICROELECTROMECANIQUE PIEZOELECTRIQUE
摘要
申请公布号 FR2944274(B1) 申请公布日期 2012.03.02
申请号 FR20090001794 申请日期 2009.04.10
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS 发明人 FAUCHER MARC;THERON DIDIER;GAQUIERE CHRISTOPHE
分类号 B81B3/00;G01L9/00;H01L41/083 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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