| 摘要 |
本发明系用以提供一种基板之搬送装置，该装置系在让基板倾斜并于处理室内进行处理时，可效率良好地将基板运送至处理室者。本发明之基板之搬送装置，系包含有：搬入运送部，系用以让以水平状态运送而至之基板倾斜预定之倾斜角度，并将之运送至处理室者；倾斜搬送部，系用以接收以搬入运送部而业已倾斜预定角度的前述基板，并以该倾斜角度而将该基板搬送于前述处理部内者；及搬出运送部，系用以由倾斜搬送部接收以预定之倾斜角度搬送于处理部处理室内且业已经处理过之基板，并回复成水平状态者；其中，搬入运送部及搬出运送部中至少一者，系沿基板之搬送方向而依次并列设置，且分别以第1、第2搬入或搬出输送带构成，该等搬入或搬出输送带系可各自设定基板之倾斜角度，且长度尺寸设定为较沿基板之搬送方向的长度尺寸为短。 |
