于浸渍微影系统中监视及控制成像用之方法及装置

摘要

本发明揭示一种监视浸渍微影系统(10)之方法，于此系统(10)中晶圆(12)能浸渍于液态浸渍媒介(22)中，由曝光图案所曝光。该方法侦测于浸渍媒介中外物之存在，由此而判定浸渍媒介是否是在适合以曝光图案曝光晶圆之状态。本发明亦揭示一种用于浸渍微影系统之监视和控制系统(26)。