发明名称 |
自动对焦量测装置 |
摘要 |
一种自动对焦量测装置,其包含一定位平台、一定位座、一影像撷取单元、一镜片组、一光学感测单元及一照明单元。该定位平台可供放置一待测物体,该定位座设置于该定位平台之一侧,以供结合该影像撷取单元、镜片组、光学感测单元及照明单元,该镜片组设置于该影像撷取单元及定位平台之间,该光学感测单元系发出一雷射光束且透过该镜片组感测该待测物体之位置,该照明单元系发出一照明光束且透过该镜片组照射该待测物体,以便该影像撷取单元撷取该待测物体之清晰影像。藉此,使该雷射光束及照明光束可位于一同轴光路。 |
申请公布号 |
TWI359279 |
申请公布日期 |
2012.03.01 |
申请号 |
TW096149746 |
申请日期 |
2007.12.24 |
申请人 |
财团法人金属工业研究发展中心 高雄市楠梓区高楠公路1001号 |
发明人 |
锺政英;曾健明;叶光明;苏立轩;吕英诚 |
分类号 |
G01R31/302;H01L21/66;G02B21/00;G02B27/40 |
主分类号 |
G01R31/302 |
代理机构 |
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代理人 |
陈启舜 高雄市苓雅区中正一路284号12楼 |
主权项 |
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地址 |
高雄市楠梓区高楠公路1001号 |