发明名称 测试装置以及探测卡
摘要 一种测试装置以及探测卡。该测试装置包括:测试头主体130,与被测试元件200之间进行信号的收发;探针110,载置被测试元件200;探测卡300,设置在测试头主体130及探针110之间;而且,探测卡300包括:多个探测针脚320,设置在与探针110对向的面上,与被测试元件200的端子进行电性连接;多个测试头侧垫330,设置在与测试头主体130对向的面上,与测试头主体130侧的弹簧针脚129进行电性连接,且与探测针脚320进行电性连接;探针侧的垫340,设置在与探针110对向的面上,与探测针脚320进行电性连接。
申请公布号 TWI359471 申请公布日期 2012.03.01
申请号 TW096148671 申请日期 2007.12.19
申请人 爱德万测试股份有限公司 日本 发明人 庄司泰
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 日本