静电固持加热器

摘要

提供一种静电固持加热器，于高温时在基板载置面所载置的基板的脱着应答性优良。本发明的静电固持加热器是藉由：在氧化铝烧结体41的上面以及下面涂布含黏结剂的导电胶43、45，以个别印刷静电电极以及加热电极，其后对此氧化铝烧结体施加煅烧，于在静电电极上配置氧化铝粉体49、在加热电极上配置氧化铝粉体47情况下，将此些的氧化铝粉体47、49与氧化铝烧结体41加压成形并加压烧成以形成基体。介电层中的静电电极附近的导电物质的扩散面积率设定为0.25%以下。