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Substrathalterung für Gasdiffusionsöfen, umfassend einen Rahmen mit Längsträgern, Querträgern und unteren Supportstäben sowie Führungseinrichtungen zur Positionierung und Führung der Substrathalterung im Innern des Gasdiffusionsofens, und eine Mehrzahl von Substrataufnahmen zur Aufnahme je eines Substrats, dadurch gekennzeichnet, dass die unteren Supportstäbe zylindrisch und auf den unteren Längsträgern des Bootes rollbar sind, und dass die Substrathalterung aus einem korrosionsfesten und chemisch beständigen Metall oder Kunststoff oder Verbundmaterial gefertigt ist.
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