| 发明名称 |
PHOTORESISTS FORMED BY POLYMERISATION OF DI-UNSATURATED¹MONOMERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE892044(A1) |
申请公布日期 |
1991.01.02 |
| 申请号 |
IE19890002044 |
申请日期 |
1989.06.23 |
| 申请人 |
LOCTITE (IRELAND) LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
C08F36/04;C08F36/06;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/16;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F;C09D147/00 |
主分类号 |
C08F36/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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