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<p>Ein EUV-Kollektor (15) zur Erfassung und Weiterleitung von Strahlung einer EUV-Strahlungsquelle umfasst mindestens einen Kollektorspiegel (23) zur Reflexion einer Emission der EUV-Strahlungsquelle, welcher rotationssymmetrisch bezüglich einer zentralen Achse (24) ausgebildet ist, und eine Kühleinrichtung (26) zur Kühlung des mindestens einen Kollektorspiegels (23), wobei die Kühleinrichtung (26) mindestens ein Kühlelement (27) aufweist, welches jeweils einen derartigen Verlauf bezüglich des Kollektorspiegels (23) aufweist, dass die Projektion des Verlaufs in eine Ebene senkrecht zur zentralen Achse (24) eine Hauptrichtung aufweist, welche einen Winkel von höchstens 20° mit einer vorgegebenen Vorzugsrichtung (29) einschließt. Durch einen derartigen Kollektor (15) wird die Qualität der zur Beleuchtung eines Objektfeldes vom Kollektor (15) weitergeleiteten Strahlung verbessert.</p> |
