发明名称 Röntgen-Fluoreszenz-Analysator und Röntgen-Fluoreszenzanalyse-Verfahren
摘要 Der Röntgenfluoreszenzanalysator (100) enthält: ein Gehäuse (10); eine Tür (20) zum Einbringen und Entnehmen der Probe in das und aus dem Gehäuse; einen Höhenmessmechanismus (7), der die Höhe im Bestrahlungspunkt messen kann; eine Steuereinheit (9) für den Antriebsmechanismus, um den Abstand zwischen der Probe und der Strahlungsquelle sowie dem Röntgenstrahlungsdetektor (3) auf Basis der gemessenen Höhe im Bestrahlungspunkt einzustellen; eine Lasereinheit (7) zum Bestrahlen des Bestrahlungspunktes mit einem Laserstrahl im Bereich des sichtbaren Lichtes; eine Laser-Startsteuereinheit (9) zum Abstrahlen des sichtbaren Laserstrahls durch die Lasereinheit (7), wenn die Tür im offenen Zustand ist; und eine Start-Steuereinheit (9) für den Höhenmessmechanismus zum Starten des Höhenmessmechanismus, um die Höhe im Bestrahlungspunkt zu messen, wenn die Tür offen ist.
申请公布号 DE102011105630(A1) 申请公布日期 2012.03.01
申请号 DE201110105630 申请日期 2011.06.28
申请人 SII NANO TECHNOLOGY INC. 发明人 HASEGAWA, KIYOSHI;IKKU, YUTAKA;TAKIGUCHI, HIDEKI
分类号 G01N23/223;G01N23/20 主分类号 G01N23/223
代理机构 代理人
主权项
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