Messeinheit, Messsystem und Verfahren zum Ermitteln einer Relativposition und Relativorientierung

摘要

Eine Messeinheit (1) ist zum Ermitteln einer relativen Position und relativen Orientierung zwischen der Messeinheit (1) und einer Anordnung (20) von mindestens drei optischen Elementen (21–23) eingerichtet. Die Messeinheit umfasst eine Längenmesseinrichtung, die Messstrahlen (16, 17) an mindessh;5) aussendet, und mindestens eine Strahllenkeinrichtung, die eingerichtet ist, um die Messstrahlen auf optische Elemente (21–23) der Anordnung (20) zu lenken. Die mindestens eine Strahllenkeinrichtung ist steuerbar, um wenigstens einen der Messstrahlen (16, 17) zeitsequentiell auf mehrere optische Elemente (21–23) der Anordnung (20) zu lenken, um zeitsequentiell mehrere Längenmessvorgänge derart durchzuführen, dass bei den mehreren Längenmessvorgängen jeder Messstrahl (16, 17) des wenigstens einen Messstrahls (16, 17) auf genau eines der optischen Elemente (21–23) trifft. Insgesamt werden so sechs Längen gemessen.