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发明名称
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER CLEANING WITH MOLECULAR FLUORINE
摘要
Methods and apparatus for the cleaning PECVD chambers that utilize molecular fluorine as the cleaning material.
申请公布号
WO2012027104(A1)
申请公布日期
2012.03.01
申请号
WO2011US47206
申请日期
2011.08.10
申请人
LINDE AKTIENGESELLSCHAFT;CIGAL, JEAN-CHARLES;HWANG, YING-SIANG;STOCKMAN, PAUL ALAN;HOGLE, RICHARD;PETRI, STEFAN
发明人
CIGAL, JEAN-CHARLES;HWANG, YING-SIANG;STOCKMAN, PAUL ALAN;HOGLE, RICHARD;PETRI, STEFAN
分类号
B08B9/00
主分类号
B08B9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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