| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0411767(A) |
申请公布日期 |
1992.01.16 |
| 申请号 |
JP19900111685 |
申请日期 |
1990.05.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAGARA KAZUHIKO;KITSUKAWA GORO |
| 分类号 |
H01L27/06;H01L21/8249;H01L27/10;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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