摘要 |
Phasenverzögerung-Korrektursystem zum Korrigieren einer Phasenverzögerung, die in digitalen Daten während der Umsetzung eines Formerfassungssignals in digitale Daten auftritt, wobei das Formerfassungssignal durch Abtasten eines zu vermessenden Objekts (3) mittels eines Detektors (1) und durch Verarbeiten der in Form einer Fourierreihe dargestellten digitalen Daten erhalten wird, gekennzeichnet durch eine Meßeinrichtung (12) zum Messen eines Phasenverzögerungsbetrags für jede räumliche Phase der Fourierreihe in den digitalen Daten im voraus und zum Speichern von Korrelationsdaten, die eine Korrelation zwischen jeder räumlichen Phase und dem Phasenverzögerungsbetrag darstellen, eine Koeffizientenberechnungseinrichtung (13) zum Berechnen eines Koeffizienten jeder räumlichen Phasenkomponente der Fourierreihe aus den digitalen Daten und eine Koeffizientenkorrektureinrichtung (15) zum Korrigieren jedes der berechneten Koeffizienten anhand der Korrelationsdaten.
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