非偏振可调谐导膜共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法

摘要

本发明涉及非偏振可调谐导模共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法，系统由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其中，导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光片的光栅层平行相向，且条纹相互垂直，两个光栅层之间为空气间隙层。通过测量入射光经过系统后TE0模式或TM0模式的两个分裂反射峰在光谱区域的间距，可得到两光栅之间纳米间隙的大小(<100nm)。优点是：本发明的正交双光栅结构适应于任何偏振的入射光，并可实现TE0模式的两个分裂反射峰与TM0模式的两个分裂反射峰在光谱区域的分离，避免TE0和TM0两种模式之间在测量时的可能干扰。

主权项

一种非偏振可调谐导模共振滤光片系统，由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其特征在于：所述的导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光片的光栅层平行相向，且条纹相互垂直，两个光栅层之间为空气间隙层，该空气间隙层为不大于100nm的纳米间隙，其中，所述的波导层均为高折射率介质材料，光栅层均由低折射率材料与空气构成。