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发明名称
PHOSPHOROUS-COMPRISING DOPANTS AND METHODS FOR FORMING PHOSPHOROUS-DOPED REGIONS IN SEMICONDUCTOR SUBSTRATES USING PHOSPHOROUS-COMPRISING DOPANTS
摘要
申请公布号
EP2316125(A4)
申请公布日期
2012.02.29
申请号
EP20090808697
申请日期
2009.08.18
申请人
HONEYWELL INTERNATIONAL INC.
发明人
HUANG, HONG, MIN;GAO, CAROL;DING, ZHE;PENG, ALBERT;LIU, YA, QUN
分类号
H01L21/22;H01L21/228
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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