发明名称 PHOSPHOROUS-COMPRISING DOPANTS AND METHODS FOR FORMING PHOSPHOROUS-DOPED REGIONS IN SEMICONDUCTOR SUBSTRATES USING PHOSPHOROUS-COMPRISING DOPANTS
摘要
申请公布号 EP2316125(A4) 申请公布日期 2012.02.29
申请号 EP20090808697 申请日期 2009.08.18
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 HUANG, HONG, MIN;GAO, CAROL;DING, ZHE;PENG, ALBERT;LIU, YA, QUN
分类号 H01L21/22;H01L21/228 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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