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发明名称
摘要
申请公布号
JP4888390(B2)
申请公布日期
2012.02.29
申请号
JP20070520012
申请日期
2005.06.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/8238;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/092
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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