| 发明名称 | 原料供应单元、用于供应原料的方法以及薄膜沉积装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种原料供应单元和一种用于供应原料的方法。所述原料供应单元包括：罐，用以存储原材料；喷射器，与所述罐连通，用以喷射自所述罐蒸发的所述原材料；高频线圈部件，环绕于所述罐的外侧；以及电阻型加热部件，设置于所述喷射器的外侧。由于将高频感应加热方法和电阻型加热方法结合起来对拟供应的原材料进行蒸发，所以可以使用大量的原材料，并且薄膜的厚度和质量可易于控制。 | ||
| 申请公布号 | CN102365711A | 申请公布日期 | 2012.02.29 |
| 申请号 | CN201080015828.4 | 申请日期 | 2010.03.26 |
| 申请人 | 韩商SNU精密股份有限公司 | 发明人 | 裵勍彬;魯俊瑞;赵晃新;权眞焕;李锺夏;金猷泫;尹亨硕 |
| 分类号 | H01L21/203(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/203(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆勍 |
| 主权项 | 一种原料供应单元，包括：罐，用以存储原材料；喷射器，与所述罐连通，用以喷射自所述罐蒸发的所述原材料；高频线圈部件，环绕于所述罐的外侧；以及电阻型加热部件，设置于所述喷射器的外侧。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||