自形成的顶抗反射涂料组合物以及利用该组合物的光致抗蚀剂混合物和成像方法

摘要

本发明提供一种物质的组合物。该物质的组合物包括一种聚合物，该聚合物具有烯属主链且包含具有芳族基团的第一单体、具有碱溶性基团或酸不稳定性保护的碱溶性基团的第二单体和具有氟烷基基团的第三单体。本发明还提供一种包括该物质的组合物的光致抗蚀剂制剂以及一种使用包括该物质的组合物的该光致抗蚀剂制剂的成像方法。

主权项

一种物质的组合物，其包含：聚合物，该聚合物具有烯属主链且包含具有芳族基团的第一单体、具有碱溶性基团或酸不稳定性保护的碱溶性基团的第二单体和具有氟烷基基团的第三单体；和浇铸溶剂。