薄膜太阳能电池元件及其制造方法

摘要

本发明的目的在于实现更高发电效率的薄膜太阳能电池元件，适用于在背面电极层与光电变换层之间以及层叠的多个光电变换层之间插入了透明电极层的纵列结构的薄膜太阳能电池元件。第一电传导路径(6)，在贯通中间透明电极层(4)和第一绝缘层(5)的微细孔处形成导电性材料的薄膜(电阻率＜10-4Ω·cm)而构成，使第一和第二光电变换层(3)、(7)相互电连接。具有同样结构的第二电传导路径(16)也使第二光电变换层(7)和背面电极层(9)相互电连接。由第一和第二电传导路径(6)、(16)构成的电传导路径的总面积，相对于单元电池的面积，设定在1×10-7以上、4×10-6以下的范围内。上述导电性材料由铂、金、铬、钌和氮化钛中的任一种形成。

主权项

一种薄膜太阳能电池元件，层叠有表面透明电极层、由以硅为主要成分的半导体层膜构成的光电变换层、以及背面金属电极层，其中，还具有透明电极层，该透明电极层在所层叠的层间与上述光电变换层相接地设置，并以氧化物为主要成分，上述透明电极层具有贯通孔和导电部件，该导电部件设置在该贯通孔中并分别相接于：上述光电变换层、以及和上述透明电极层在与上述光电变换层侧相反一侧相接的层，上述导电部件由非氧化物构成，该非氧化物的材料分别不同于：上述光电变换层、以及和上述透明电极层在与上述光电变换层侧相反一侧相接的层，上述透明电极层设置于上述光电变换层和上述背面金属电极层之间，上述导电部件设置成与上述光电变换层和上述背面金属电极层相接，并由与上述光电变换层以及上述背面金属电极层分别不同材料的非氧化物构成，在上述透明电极层内分布并设置有多个上述导电部件。