使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统

摘要

本发明涉及使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统；更具体而言，本发明涉及这样一种使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统，其通过对便携式门架系统提供实时反馈作为左右和上下方向的误差值并且然后将预载真空的压力调节至这个结果值而精密地控制相对于平面度、倾斜度、准直度、翻滚度以及摇摆度的误差。

主权项

一种使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统，所述系统由以下各项构成：由花岗岩或铝制成的高质量基座(21)，两个直线电机(22)，其沿相同的进给轴方向以平行方式被布置和驱动以使可动支架移动，线性编码器(23)，其检测相应的直线电机的位置值并且提供这个位置值作为反馈以便补偿位置误差，空气轴承和真空垫(24)，其以基座(21)的表面作为基准移动并且将指定的接触力/张力/压缩力认可为压缩空气的力使得所述可动支架能够移动，可动支架(25)，其夹持放置在所述基座上的设备或者使有效负载移动，钢棒(26)，其用于引起磁预载力，以及预载磁体(27)，其沿所述空气轴承和真空垫(24)的反方向操纵磁力以形成高刚度从而能够耐受瞬时外力；所述线性编码器(23)由安装在所述可动支架(25)的侧表面上的侧表面线性编码器(23‑1，23‑1′)对和安装在所述可动支架(25)的一侧的下部的下表面线性编码器(23‑2，23‑2′)对构成；并且所述线性编码器(23)沿刻度尺移动，所述刻度尺具有标准标记(41)、用于补偿垂直位置误差的L轨迹(42)以及用于补偿水平位置[误差]的T轨迹(43)。