发明名称 |
碱产生剂、感光性树脂组合物、含有该感光性树脂组合物的图案形成用材料、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品 |
摘要 |
本发明提供一种高感度且可适用的范围较广的碱产生剂以及高分子前驱体在结构上可适用的选择范围较广的感光性树脂组合物,所述高分子前驱体是可通过碱性物质或通过碱性物质存在下的加热,其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。本发明的碱产生剂的特征在于,其以下述化学式(1)表示且通过电磁波照射和加热产生碱;本发明的感光性树脂组合物的特征在于,其含有所述碱产生剂和下述高分子前驱体,所述高分子前驱体为可通过所述碱产生剂和碱性物质或通过碱性物质存在下的加热,其生成最终产物的反应得到促进的高分子前驱体。化学式(1)<img file="dda0000095360920000011.GIF" wi="736" he="425" />式中的记号同说明书中的记载。 |
申请公布号 |
CN102365341A |
申请公布日期 |
2012.02.29 |
申请号 |
CN201080014608.X |
申请日期 |
2010.03.26 |
申请人 |
大日本印刷株式会社 |
发明人 |
片山麻美;福田俊治;坂寄胜哉;川口浩司 |
分类号 |
C09K3/00(2006.01)I;C07D295/18(2006.01)I;C07D309/12(2006.01)I;C07D317/64(2006.01)I;C08K5/04(2006.01)I;C08L101/00(2006.01)I;C09D7/12(2006.01)I;C09D11/00(2006.01)I;C09D201/00(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J179/04(2006.01)I;C09J179/08(2006.01)I;C09J201/00(2006.01)I;C09J201/02(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I |
主分类号 |
C09K3/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
蒋亭 |
主权项 |
1.一种碱产生剂,其特征在于,其以下述化学式(1)表示且通过电磁波的照射和加热产生碱:化学式(1)<img file="FDA0000095360900000011.GIF" wi="736" he="425" />化学式(1)中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>分别独立地表示氢或有机基,可相同也可不同;R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>可彼此键合而形成环状结构,该环状结构也可含有杂原子;其中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>中的至少1个是有机基;R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>分别独立地表示氢、卤素、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸根基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸根基或有机基,可相同也可不同;R<sup>5</sup>、R<sup>6</sup>、R<sup>7</sup>和R<sup>8</sup>分别独立地表示氢、卤素、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸根基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸根基、氨基、铵基或有机基,可相同也可不同;R<sup>5</sup>、R<sup>6</sup>、R<sup>7</sup>和R<sup>8</sup>中的2个以上可键合而形成环状结构,该环状结构也可含有杂原子;R<sup>9</sup>为可通过加热和/或电磁波照射而脱保护的保护基。 |
地址 |
日本国东京都 |