| 发明名称 | 一种用于真空环境的减振器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在EUV光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。 | ||
| 申请公布号 | CN101725662B | 申请公布日期 | 2012.02.29 |
| 申请号 | CN200910273182.9 | 申请日期 | 2009.12.10 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 李小平;廖飞红;陈学东;李巍;刘雷钧;严天宏;王新杰;罗欣;徐振高;曾理湛 |
| 分类号 | F16F15/023(2006.01)I | 主分类号 | F16F15/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人 | 李智 |
| 主权项 | 一种用于真空环境的减振器，包括腔体(17)，腔体(17)内设有由气缸(12)和活塞(3)构成的空气弹簧，气缸(12)的侧壁连接高压气源(15)，气缸(12)底部与腔体(17)底部之间、气缸(12)内侧壁分别设有一气浮，其特征在于，腔体(17)的两侧壁中间部分分别嵌入了密封柔性连接件(5)，其中一侧壁还设有用以连接抽气机(7)的排气孔(8)。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||