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发明名称 Method and device for separating in particular metered layers by means of OVPD or similar
摘要
申请公布号 EP2009714(A3) 申请公布日期 2012.02.29
申请号 EP20080159270 申请日期 2008.06.27
申请人 AIXTRON SE 发明人 KALISCH, HOLGER
分类号 B05D1/00;C23C14/12;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/54;H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56 主分类号 B05D1/00
代理机构 代理人
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