| 发明名称 | 光学组件 | ||
| 摘要 | 一种光学组件(29)具有带有反射镜体(26)的至少一个反射镜(24)。反射镜体(26)由具有第一支撑体部分(31)和第二支撑体部分(32)的支撑体(30)支撑。在所述两个支撑体部分(31、32)之间布置至少部分热隔离的区域(33)。所述支撑部分(31、32)中的至少一个或者与其热耦合的体的至少一个表面部分(38、41)被修改，使得所修改的表面部分(38、41)的热发射系数εm与未修改的表面部分的热发射系数εu相差至少10％。从而，通过预先确定热发射系数提高了光学组件的热稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN102365565A | 申请公布日期 | 2012.02.29 |
| 申请号 | CN201080014776.9 | 申请日期 | 2010.03.13 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | 达米安.菲奥尔卡;威尔弗里德.克劳斯 |
| 分类号 | G02B5/08(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 光学组件(29)‑具有至少一个具有反射镜体(26)的反射镜(24；53、54)‑所述反射镜由支撑体(30)支撑，所述支撑体(30)具有‑第一支撑体部分(31)，‑第二支撑体部分(32)，‑其中在所述两个支撑体部分(31、32)之间布置至少部分热隔离的区域(33)，‑其中所述支撑部分(31、32)中的至少一个或者与其热耦合的体(23、50、67)的至少一个表面部分(38、41、44、46至48、52、52、68)被局部修改，使得所修改的表面部分(38、41、44、46至48、52、52、68)的热发射系数εm与未修改的表面部分的热发射系数εu相差至少10％。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||