用于形成高分辨率图像的系统

摘要

本发明公开了一种基于光纤的光通道系统，包括在用于对集成电路进行成像和/或处理的离子束/电子束工具中。光学通道系统包括图像收集部分、光纤图像传送部分和检测器部分。图像收集部分包括微光学组件并且具有亚毫米尺度，从而它被容易地容纳于离子束/电子束工具的工作距离内。整个系统充分地紧凑和轻便，从而它可以容易地装配于样品室内的移动台上，该移动台允许光学通道机械地伸展和缩回以免阻挡主离子束或者电子束。该系统可以装配到移动台或者喷气组件，该移动台或者该组件本身可以装配到具有用于电学和光学信号的馈通端口的在室壁上的凸缘板。

主权项

一种用于形成在带电粒子束设备的室中设置的工件的区域的高分辨率图像的系统，所述带电粒子束设备相对于所述工件具有一工作距离，所述系统包括：图像收集部分，包括显微物镜，所述显微物镜具有垂直于所述工件的表面的入射角；图像传送部分，包括第一光学通道以及在所述第一光学通道的末端处的光学组件，所述第一光学通道基本上平行于所述工件的表面，以及所述光学组件用于将来自所述图像收集部分的图像信息引向所述第一光学通道；以及检测器部分，用于检测所述图像信息，其中：所述图像收集部分和所述图像传送部分定位于所述工作距离内，并且所述图像传送部分还包括用于向所述工件的区域传送照明的第二光学通道，所述第一光学通道和所述第二光学通道基本上平行。