发明名称 |
太阳能电池RIE工艺温度补偿方法 |
摘要 |
本发明涉及太阳能电池RIE制绒技术领域,特别是一种太阳能电池RIE工艺温度补偿方法,具体步骤如下:首先每次作业之前通过热电偶或红外线温度侦测仪侦测基板温度;然后此温度值将反馈至操作系统,系统根据温度值计算出实际工艺时间,工艺时间计算公式如下:T=T0+a*ln(T1)+b;T:补偿后的工艺时间;T0:设定工艺时间;T1:基板温度;a和b:常数,根据收集的温度与工艺时间数据计算出;最后设备工作时将以补偿后的工艺时间为实际工艺时间。本发明的有益效果是:通过此发明可解决RIE工艺中反射率随工艺温度波动的缺陷,通过引入温度补偿,自动调节工艺时间,提高RIE工艺稳定性。 |
申请公布号 |
CN102364700A |
申请公布日期 |
2012.02.29 |
申请号 |
CN201110329442.7 |
申请日期 |
2011.10.26 |
申请人 |
常州天合光能有限公司 |
发明人 |
钟明 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
一种太阳能电池RIE工艺温度补偿方法,其特征是:具体步骤如下:a)每次作业之前通过热电偶或红外线温度侦测仪侦测基板温度;b)此温度值将反馈至操作系统,系统根据温度值计算出实际工艺时间,工艺时间计算公式如下:T=T0+a*ln(T1)+b;T:补偿后的工艺时间;T0:设定工艺时间;T1:基板温度;a和b:常数,根据收集的温度与工艺时间数据计算出;c)设备工作时将以补偿后的工艺时间为实际工艺时间。 |
地址 |
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |