薄膜晶体管基板及显示器件

摘要

本发明可提供一种薄膜晶体管基板，构成源极、漏极配线的铝合金膜和透明电极直接连接，该源极、漏极配线和栅极配线的特性都良好，可使用大幅简化了的工序进行制造。即，上述薄膜晶体管基板具有栅极配线合于此正交配置的源极配线及漏极配线。另外，上述薄膜晶体管基板，构成上述栅极配线的单层铝合金膜的组成和构成上述源极配线及漏极配线的单层铝合金膜的组成相同。另外，本发明还提供一种具备有上述薄膜晶体管基板的显示器件。

主权项

一种薄膜晶体管基板，其具有栅极配线、与栅极配线正交配置的源极配线及漏极配线、以及与该漏极配线直接连接的透明电极，其特征在于，构成所述栅极配线的单层铝合金膜的组成和构成所述源极配线及漏极配线的单层铝合金膜的组成相同，所述单层铝合金膜的电阻率为7μΩ·cm以下，所述漏极配线与所述透明电极之间的接触电阻率低于1.0×10‑3Ω·cm2，并且，所述单层铝合金膜作为合金成分包含0.1～6原子％的选自由Ni、Ag、Zn、Cu和Ge构成的X组中的至少一种，并且，作为合金成分包含选自由Nd、Y、Fe和Co构成的Y1组中的一种以上，其含量在下式(1)的范围内，余量为铝及不可避免的杂质，0.1≤(CX+10CY1)≤6…(1)其中，CX为铝合金中的X的含量，CY1为铝合金中的Y1含量，X和Y1的含量的单位为原子％。