发明名称 |
一种传输线电磁噪声抑制器及其制备方法 |
摘要 |
一种传输线电磁噪声抑制器及其制备方法,属于电子技术领域。产品包括介质基片,往上依次是微带传输线或共面波导传输线、绝缘层、过渡层和磁性薄膜,所述磁性薄膜具有非均匀的厚度。制备方法是首先在介质基片上制备传输线,然后沉积绝缘层,再利用胶体球掩模方法和薄膜沉积工艺制备过渡层和磁性薄膜。本发明依据铁磁共振理论和双磁子自旋散射模型,将常规传输线电磁噪声抑制器中均匀厚度的磁性薄膜变成非均匀厚度的磁性薄膜,从而大幅提高了传输线电磁噪声抑制器的工作带宽。本发明提供的传输线电磁噪声抑制器,具有更宽的工作带宽,能够满足宽频带范围内对电磁噪声进行抑制的需求;其制备方法工艺简单、能够与微波集成电路工艺兼容。 |
申请公布号 |
CN101909419B |
申请公布日期 |
2012.02.29 |
申请号 |
CN201010218948.6 |
申请日期 |
2010.07.07 |
申请人 |
电子科技大学 |
发明人 |
钟智勇;刘爽;张怀武;唐晓莉;苏桦;白明飞;金立川 |
分类号 |
H05K9/00(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I |
主分类号 |
H05K9/00(2006.01)I |
代理机构 |
电子科技大学专利中心 51203 |
代理人 |
葛启函 |
主权项 |
一种传输线电磁噪声抑制器,包括介质基片(1)、微带传输线或共面波导传输线(2)、绝缘层(3)和磁性薄膜(4),所述微带传输线或共面波导传输线(2)处于介质基片(1)和绝缘层(3)之间;所述磁性薄膜(4)处于绝缘层(3)之上;其特征在于,该传输线电磁噪声抑制器还包括一层过渡层(5);所述过渡层(5)材料为高附着性的金属材料,处于绝缘层(3)和磁性薄膜(4)之间;且过渡层(5)和磁性薄膜(4)之间的接触面是非平整接触面,使得磁性薄膜(4)具有非均匀的厚度。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 |