发明名称 SINGLE PHASE FLUID IMPRINT LITHOGRAPHY METHOD
摘要
申请公布号 EP2252725(A4) 申请公布日期 2012.02.29
申请号 EP20090707651 申请日期 2009.02.05
申请人 MOLECULAR IMPRINTS, INC. 发明人 XU, FRANK Y.;KHUSNATDINOV, NIYAZ
分类号 G03F7/00;C23F1/12 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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