发明名称 APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR101113935(B1) 申请公布日期 2012.02.29
申请号 KR20080112286 申请日期 2008.11.12
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;B65G49/07;H01L21/68 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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