| 发明名称 | 一种红外透明导电薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种红外透明导电薄膜及其制备方法。所述的红外透明导电薄膜是在蓝宝石衬底上依次覆盖有Cu薄膜和CuAlO薄膜。Cu薄膜的厚度为300～360nm，折射率为1.07～1.13；CuAlO薄膜的厚度为100～170nm，折射率为1.70～2.00。制备时采用射频磁控溅射方法在蓝宝石衬底上沉积Cu薄膜后退火，采用射频磁控溅射方法在沉积有Cu薄膜的蓝宝石上再沉积CuAlO薄膜后再退火。本发明制备的红外透明导电薄膜Cu/CuAlO，不仅具有很好的红外透过性能，还具有良好的导电性能，可用于改善红外探测器窗口/头罩材料的光学性能和抗电磁干扰性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101752026B | 申请公布日期 | 2012.02.29 |
| 申请号 | CN201010013649.9 | 申请日期 | 2010.01.21 |
| 申请人 | 西北工业大学 | 发明人 | 冯丽萍;刘正堂;李阳平 |
| 分类号 | H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | H01B5/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人 | 慕安荣 |
| 主权项 | 一种红外透明导电薄膜，其特征在于：在蓝宝石衬底上依次覆盖有Cu薄膜和CuAlO薄膜，其中Cu薄膜的厚度为300～360nm，折射率为1.07～1.13；CuAlO薄膜的厚度为100～170nm，折射率为1.70～2.00。 | ||
| 地址 | 710072 陕西省西安市友谊西路127号 | ||