同时具有多波长、多入射角和多方位角的光学测量系统

摘要

本发明揭示了一种光学测量和/或检测装置，该装置在一个应用中可被用来检测半导体器件。它包括：光源，用以提供入射光线；具有内反射面的半抛物面反射器，其中，所述反射器具有焦点和对称轴；和置于焦点附近的待测器件。和反射器的对称轴平行的入射光线进入反射器后，将被导向到焦点以及从待测器件上反射离开，从而产生表示该待测器件的指示信息，然后反射光线离开该反射器。探测器阵列接收反射出来的光线，该光线可被分析以确定待测器件的特征。

主权项

一种光学装置，包括：‑光源，用以提供入射光线；‑半抛物面反射器，具有反射表面和焦点，用以聚焦所述入射光线到待测器件，其中所述入射光线在所述待测器件上反射离开，并且反射光线提供指示所述待测器件的信息；‑探测器阵列，用以收集从所述待测器件上离开的所述反射光线。