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发明名称 Device for plasma-based chemical treatment of surfaces of substrates in a vacuum
摘要
申请公布号 EP1854907(B1) 申请公布日期 2012.02.29
申请号 EP20070008718 申请日期 2007.04.28
申请人 FORSCHUNGS- UND APPLIKATIONSLABOR PLASMATECHNIK GMBH DRESDEN 发明人 STAHR, FRANK, DR.;STEINKE, OLAFF, DR.;STEPHAN, ULF, DR.;SCHADE, KLAUS, PROF.
分类号 C23C16/509;C03C17/00;C23C16/24;C23C16/455;C23C16/458;H01J37/32 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
主权项
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