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经营范围
发明名称
METHODS AND APPARATUS OF FIELD-INDUCED PRESSURE IMPRINT LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
EP1509379(B1)
申请公布日期
2012.02.29
申请号
EP20030734468
申请日期
2003.05.27
申请人
CHOU, STEPHEN Y.;ZHANG, WEI
发明人
CHOU, STEPHEN Y.;ZHANG, WEI
分类号
B29C43/36;B29C43/02;B29C59/02;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/3213
主分类号
B29C43/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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