ARCH CHAMBER FOR ION IMPLANTATION APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME,申请号KR20100053945-传众专利搜索

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发明名称	ARCH CHAMBER FOR ION IMPLANTATION APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号	KR101119506(B1)	申请公布日期	2012.02.28
申请号	KR20100053945	申请日期	2010.06.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/265;H01J37/30;H01L21/02	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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