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发明名称 STORAGE CONTAINER FOR SUBSTRATE AND SUBSTRATE TRANSPORT FACILITY THEREFOR
摘要
申请公布号 KR101110621(B1) 申请公布日期 2012.02.28
申请号 KR20090085714 申请日期 2009.09.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;B65D85/48;B65G49/06;H01L21/677 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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