| 摘要 |
1. Способ обработки перемещаемой подложки при помощи лазера, при котором в результате обработки получается выход материала, отделенного от подложки, отличающийся тем, что в ходе обработки подложки большее давление преобладает на стороне подложки, на которую излучается лазерный луч, чем на другой стороне подложки. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка подвергается изгибу после обработки. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка приводится в изогнутое положение в течение процесса обработки. ! 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что вогнутая сторона изгиба подложки направлена к лазерному источнику. ! 5. Способ по п.3, отличающийся тем, что вогнутая сторона изгиба подложки направлена к лазерному источнику. ! 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что в ходе обработки подложка изгибается в арку, центр которой совпадает с осью вращения регулируемого отклоняющего зеркала, которое отклоняет лазерный луч в плоскость изгиба подложки. ! 7. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что лазер обрабатывает подложку внутри вытянутой зоны обработки, и тем, что ось изгиба простирается перпендикулярно наибольшему размеру зоны обработки. ! 8. Способ по п.5, отличающийся тем, что ось изгиба простирается перпендикулярно направлению перемещения подложки. ! 9. Способ по п.7, отличающийся тем, что ось изгиба простирается перпендикулярно направлению перемещения подложки. ! 10. Способ по п.8, отличающийся тем, что подложка направляется по по меньшей мере одной изогнутой направляющей в ходе лазерной обработки. ! 11. Способ по п.9, отличающийся тем, что направляющая выполняет функцию воздушной опоры. ! 12. Способ по п.11, отличающийся тем, что под� |
