摘要 |
Микроволновой газоразрядный источник УФ излучения, характеризующийся тем, что содержит СВЧ генератор, соединенные с ним внешний элемент, внутренний элемент и газонаполненную емкость, при этом внутренний элемент выполнен в виде цилиндрического металлического стержня с зеркальной отражающей УФ излучение поверхностью, внешний элемент установлен соосно с внутреннем элементом и выполнен в виде металлической сетки цилиндрической формы, а газонаполненная емкость выполнена из двух соосных цилиндрических кварцевых трубок и расположена соосно с внутренним элементом. |