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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TRANSPORTING A SUBSTRATE USING NON-NEWTONIAN FLUID
摘要
申请公布号 KR101111360(B1) 申请公布日期 2012.02.24
申请号 KR20110103118 申请日期 2011.10.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;B65G49/07;B65G54/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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