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发明名称 APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES AND METHOD OF TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR101118068(B1) 申请公布日期 2012.02.24
申请号 KR20050026079 申请日期 2005.03.29
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;H01L21/306;B08B3/02;B08B3/04;B08B17/00;G02F1/1333;H01L21/304;H01L21/68 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
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