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经营范围
发明名称
LIQUID CRYSTAL EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
KR101120439(B1)
申请公布日期
2012.02.24
申请号
KR20100011320
申请日期
2010.02.08
申请人
发明人
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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