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发明名称 MEASUREMENT SYSTEM AND METHOD
摘要 A method of measuring planar defects in a substrate may include positioning a sensor proximate to an area configured to receive a substrate.
申请公布号 WO2012024278(A1) 申请公布日期 2012.02.23
申请号 WO2011US47889 申请日期 2011.08.16
申请人 FIRST SOLAR, INC.;CONLEY, JOSHUA;MURPHY, STEPHEN 发明人 CONLEY, JOSHUA;MURPHY, STEPHEN
分类号 G01B11/06;G01B11/30;G01N21/89;H01L21/66 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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