| 发明名称 |
LOW PRESSURE CVD FILM FORMING METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09213640(A) |
申请公布日期 |
1997.08.15 |
| 申请号 |
JP19960018514 |
申请日期 |
1996.02.05 |
| 申请人 |
MIYAGI OKI DENKI KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
IWAKI TOMOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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