| 摘要 |
Vorrichtung zum Herstellen von Silizium, die folgendes aufweist: wenigstens eine erste Prozesskammer; wenigstens ein in der ersten Prozesskammer angeordnetes erstes Element; wenigstens eine steuerbare Heizvorrichtung die geeignet ist, das wenigstens eine Element auf erste und/oder zweite Temperaturen zu erwärmen, wobei die erste Temperatur in einem Temperaturbereich liegt, bei dem sich Silizium aus einem Silane enthaltenden Prozessgas auf dem wenigstens einen ersten Element abscheiden kann, um eine Siliziumschicht hierauf auszubilden, und wobei die zweite Temperatur in einem Temperaturbereich liegt, bei dem eine auf dem wenigstens einen ersten Element ausgebildete Siliziumschicht wenigstens teilweise schmilzt und von dem wenigstens einen ersten Element in flüssiger Form abfließt; wenigstens einen Tiegel zum Sammeln von flüssigen Silizium, das von dem wenigstens einen ersten Element abfließt; und wenigstens eine zweite Heizvorrichtung, die steuerbar ist, um den Tiegel auf eine Temperatur auf oder oberhalb des Schmelzpunktes von Silizium zu erwärmen, um eine kontrollierte... |
