发明名称 Leiterbahnen und Anschlussflächen und Verfahren zu deren Herstellung
摘要 Es werden eine Halbleitervorrichtung (100) und ein Verfahren offenbart. Die Halbleitervorrichtung (100) enthält ein Substrat (110), das ein erstes Gebiet (102) und ein zweites Gebiet (103) aufweist, und eine Isolierschicht (140), die auf dem Substrat (110) angeordnet ist. Eine erste leitende Schicht (120) ist in oder auf der Isolierschicht (140) in dem ersten Gebiet (102) angeordnet und eine zweite leitende Schicht (130) ist in oder auf der Isolierschicht (140) in dem zweiten Gebiet (103) angeordnet. Die erste leitende Schicht (120) weist ein erstes leitendes Material auf und die zweite leitende Schicht (130) weist ein zweites leitendes Material auf, wobei sich das erste leitende Material von dem zweiten leitenden Material unterscheidet. Auf der ersten leitenden Schicht (120) ist eine Metallschicht (170) angeordnet.
申请公布号 DE102011050953(A1) 申请公布日期 2012.02.23
申请号 DE20111050953 申请日期 2011.06.09
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 FISCHER, THOMAS;HAMPP, ROLAND;HOECKELE, UWE
分类号 H01L23/482;H01L21/60 主分类号 H01L23/482
代理机构 代理人
主权项
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