发明名称 |
防单晶炉加热器螺栓断裂的装置 |
摘要 |
本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒,保温筒内圈设有加热器,加热器的内腔设有由埚杆支撑的坩埚,坩埚与埚杆之间安装有贴于坩埚底面的埚托,加热器通过螺栓固定在炉体的底盘上,螺栓上安装有螺帽保护罩。本实用新型的防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,通过在螺栓上增加螺帽保护罩,使得安装在加热器上的螺栓避免了加热器温度的直射,延长了螺栓的使用寿命,减少打火事故的发生,提高了单晶炉热场的安全性能。 |
申请公布号 |
CN202148364U |
申请公布日期 |
2012.02.22 |
申请号 |
CN201120269579.3 |
申请日期 |
2011.07.28 |
申请人 |
江苏兆晶光电科技发展有限公司 |
发明人 |
孙志兰;周静;李长喜 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市惠诚律师事务所 11353 |
代理人 |
王美华 |
主权项 |
一种防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1),保温筒(1)内圈设有加热器(2),加热器(2)的内腔设有由埚杆(4)支撑的坩埚(3),所述的坩埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于坩埚(3)底面的埚托(3‑1),所述的加热器(2)通过螺栓(5)固定在炉体的底盘上,其特征在于:所述的螺栓(5)上安装有螺帽保护罩(6)。 |
地址 |
213200 江苏省常州市金坛市经济开发区南环二路888号 |