发明名称 防单晶炉加热器螺栓断裂的装置
摘要 本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒,保温筒内圈设有加热器,加热器的内腔设有由埚杆支撑的坩埚,坩埚与埚杆之间安装有贴于坩埚底面的埚托,加热器通过螺栓固定在炉体的底盘上,螺栓上安装有螺帽保护罩。本实用新型的防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,通过在螺栓上增加螺帽保护罩,使得安装在加热器上的螺栓避免了加热器温度的直射,延长了螺栓的使用寿命,减少打火事故的发生,提高了单晶炉热场的安全性能。
申请公布号 CN202148364U 申请公布日期 2012.02.22
申请号 CN201120269579.3 申请日期 2011.07.28
申请人 江苏兆晶光电科技发展有限公司 发明人 孙志兰;周静;李长喜
分类号 C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 北京市惠诚律师事务所 11353 代理人 王美华
主权项 一种防单晶炉加热器螺栓断裂的装置,包括设置在单晶炉炉体内壁处的保温筒(1),保温筒(1)内圈设有加热器(2),加热器(2)的内腔设有由埚杆(4)支撑的坩埚(3),所述的坩埚(3)与埚杆(4)之间安装有贴于坩埚(3)底面的埚托(3‑1),所述的加热器(2)通过螺栓(5)固定在炉体的底盘上,其特征在于:所述的螺栓(5)上安装有螺帽保护罩(6)。
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